中古 KARL SUSS / MICROTEC M6000L #9012375 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC M6000Lは、高度な半導体リソグラフィープロセス用に特別に設計された生産用マスクアライナーです。高いスループット、汎用性、優れたプロセス制御を備えています。MICROTEC M6000Lは、高精度のリニアポジショニングステージと自動化された「ティーチアンドリプレイ」/アライメント装置を使用し、マスクとウェーハの正確なアライメントを可能にします。このシステムは、ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィックインターフェイスでプログラムされており、製品開発、エンジニアリング、および生産ニーズをサポートする強力なアルゴリズムを備えています。KARL SUSS は、位置決めのための の分解能、および の高いアライメント精度を提供し います。また、ディープUV、 Eビーム、iラインなどの標準および高度なリソグラフィープロセスの使用もサポートしています。さらに、このユニットは、最大12インチの大型基板と、標準の4インチおよび5インチのウェーハを取り扱うように設計されています。アライナーM6000L自動クランプ機を備えており、基板ホルダーとツール間の安全で繰り返し可能な接続を提供します。また、真空ポートと真空フットプリントの絶縁も備えており、臨界露光段階で基板に十分な真空圧力を供給します。KARL SUSS/MICROTEC M6000Lは、再現性と再現性のあるリソグラフィープロセスを可能にするいくつかの高度な機能を提供します。これらの機能には、温度制御環境、マスクと基板での自動ウェットタビリティ制御、チャンバー消耗品を使用したプロセス監視、ウェーハのアライメントと露出プロセスの遠隔監視などがあります。このアセットにはデジタルイメージキャプチャカメラも含まれており、焦点距離の監視を可能にし、露出パターンで高解像度の画像処理性能を保証します。MICROTEC M6000Lは、高度な半導体材料の最適なパターン開発を実現するために設計された、フル機能のリソグラフィーソリューションです。このモデルは、ユーザーに包括的なリソグラフィ装置を提供し、高いスループットと正確なプロセスを可能にします。高品質なデバイスを提供しながら、ユーザーが再現性、堅牢なパフォーマンス、コスト効率を達成するのに役立ちます。