中古 KARL SUSS / MICROTEC BA 8 #9382268 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC BA 8は、半導体デバイス製造に使用するための、自動、高精度、ユーザーフレンドリーなマスクアライナーです。薄膜の正確なパターニング、レジストマスキング、ウェーハパターニングなど、さまざまなフォトリソグラフィ用途に最適化されています。高度な機能と効率的な作業モードを備えたMICROTEC BA 8は、高速かつ正確なリソグラフィ処理に理想的なプラットフォームを提供します。KARL SUSS BA 8は、6軸アライメントヘッド、自動ウェーハ/マスクステージングメカニズム、ウェーハからマスクへのアライメント装置、10Xズームレンズを搭載した高解像度イメージングシステム、影を低減し、エッジアーティファクトを最小化するための自動制御ユニットです。これらのコンポーネントは、時間を節約し、より高い解像度の結果を提供するために、小さなフットプリントに最適に統合されています。BA 8のアライメントヘッドは、ウェーハとマスクの両方を高精度に保持および移動するように設計されています。ウェーハ/マスクステージは、精密エンコーダとトラベルステージに結合された2つのメカニカルレスモーターで構成され、x方向とy方向の両方で正確で反復可能な単点アライメントを保証します。さらに、高精度インデクサは、複数露光アライメントプロセスに再現可能なマスクの動きを提供します。KARL SUSS/MICROTEC BA 8のウェーハツーマスクアライメントマシンは、照明、イメージング、光変位技術を組み合わせて、ウェーハとマスクの両方を正確に検出します。これにより、効率的で正確なアライメントプロセスが可能になり、コーティングエラーやその他の欠陥を1つの自動低温動作で低減できます。また、マスクチャックには高解像度fiducial認識ソフトウェアを搭載し、ミスアライメントをさらに低減しています。最後に、MICROTEC BA 8のイメージングツールは、小型で優れた解像度を提供します。10x光学ズームアセットにより、高精度なパターニングが可能ですが、同軸光源は影を除去し、より均等に露出したレジストを保証します。さらに、この光学モデルは、ウェーハをマスクベースに合わせるために内蔵されており、クリティカルな寸法変動を低減します。全体として、KARL SUSS BA 8マスクアライナーは、高精度、高効率、再現性を備えた大きなシステムの製造に必要な高解像度パターニングを提供します。優れた機能と機能を備えたBA 8は、費用対効果の高いリソグラフィ処理に最適です。