中古 KARL SUSS / MICROTEC BA 6 #9363766 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC BA 6は、半導体製品の製造におけるリソグラフィに使用される最先端のマスクアライナーです。このアライナーは、小型で複雑なチップレイアウトプロセスまたは高解像度のウェーハ製造プロセスに適した小型でサイズ効率の高いリソグラフィ装置です。マスクアライナーは、まずチップレイアウトのサイズを露出するように設定して動作し、チップの表面に細かく挽いた石英ガラス抵抗材料を適用します。水晶ガラスのレジストは、マスクをチップ表面に近づけながら、波長193nmの0。2ミクロンの紫外線パスバンドにさらされます。マスクアライナーは、その高度な位置決めとビーム偏向システムを使用して、マスクをチップ上に移動させます。マスクの正確な位置決めは、安定したレーザーコントローラと高解像度のリニアモータを使用することによって可能になり、ビーム偏向はチップレイアウトのすべての領域に紫外線を均一に適用することを保証します。MICROTEC BA 6アライナーは、最大1。0umの高い露出精度を提供し、チップレイアウト構造のサイズを制御するため、優れたレイヤーアライメント精度を実現します。このアライナーは、最大1000Hzの周波数をスキャンすることも可能で、マスクのハイスループット製造に適しています。さらに、電動ズームオプティクスとレイリーレーザー干渉計を搭載し、露出精度を高めています。KARL SUSS BA 6には、生産プロセスを容易にするために設計された多数の高度な機能も含まれています。これらの機能には、PLCベースの自動ジョブテーブル、6軸アライメントシステム、フィニッシュレイヤー用のエンボス加工機能が含まれます。さらに、このアライナーには強力なコンピュータソフトウェアプログラムが付属しており、チップレイアウトの詳細な分析を提供します。全体的に、BA 6マスクアライナーは、半導体チップ製造に使用される最先端のリソグラフィーツールです。半導体デバイスの効率的かつ正確な生産を容易にするために、ハイエンドの位置決めと紫外線露光機能と多数の高度な機能を組み合わせています。高精度なビーム偏向により、チップレイアウトの正確なアライメントも可能ですが、1000Hzの高いスループットにより、商用使用に適しています。