中古 KARL SUSS / MICROTEC BA 6 #9144075 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC BA 6は、主流の半導体加工のニーズを満たすように設計された最先端のマスクアライナーです。このアライナーは、高度な光学アライメントおよび計測機能を使用して、マスクの両方のファセットをウェハに正確に転送します。ユニークで革新的なデザインで、機器はユーザーフレンドリーで、非常に正確なマスクアライメントを提供します。MICROTEC BA 6は、高解像度でのリソグラフィを可能にし、アライメント精度の低下を抑制します。最大0.4µm線幅の1µmおよびアライメント精度までのフィーチャーサイズに対応します。アライナーには、各アライメントファセットをXY方向に個別に配置するユニークなメカニズムが含まれており、アライナーの精度が向上します。KARL SUSS BA 6は、各露出パラメータの正確なトレーサビリティを可能にする高度な計測モードを内蔵しています。このシステムは、アライメントファセット、マスクからウェーハまでの距離、および高精度で重要な寸法を測定する機能を備えています。アライナーは高精度のステージモーションコントロールユニットを備えており、再現可能なアライメントと機能の露出を可能にします。このマスクアライナーには、マスクパターンをチェックし、アライメントの欠陥を識別する特許取得済みの検査機が組み込まれています。さらに、ツールとのデータベース接続により、アセットは統計データを使用してアライメント条件を最適化することができます。これは、露出不足の数を減らすことによって、レチクルの寿命を延ばす。高度な機能と機能を備えたBA 6は、市場で最も正確なマスクの整列を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと使いやすさにより、半導体製造の生産プロセスを合理化します。