中古 KARL SUSS / MICROTEC 505 #9173271 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC 505は、フォトマスクやウェーハをフォトリソグラフィなどの用途に合わせた高性能マスクアライナー装置です。コンピュータコントローラを内蔵した高精度なシステムで、0。7 μ mまでのアライメント精度を実現しています。このユニットは、ウェーハアライメント（WA）テーブルとレチクルアライメント（RA）テーブルの2つの主要コンポーネントで構成されています。両方のテーブルには、マイクロメータスタイルのXとYの変換ステージ、および2つの優れたZステージが装備されています。微細なZステージは、X軸とY軸の独立した調整を可能にします。フォトマスクとウェーハを整列させるために、マスクアライナーはビジョンツールを使用します。このアセットは、LEDまたはレーザープロジェクターと画像キャプチャデバイスを使用して、マスクとウェーハ上の基準点を見つけて測定します。さらに、このモデルは、光学マスク検査、3Dプロファイル測定、またはオフラインのオートセンタリングにも使用できます。機器に付属しているソフトウェアは、マスクのアライメント、測定、検査に関連するさまざまなタスクをサポートするだけでなく、使いやすいユーザーインターフェイスを提供するように設計されています。さらに、マスクアライナーシステムは、優れた精度と解像度を提供します。これは、0。7 μ m以下の変位を登録することができ、2軸アライメントマイクロメータスケールが装備されています。この精度は、フォトマスクとウェーハをミクロンサイズの機能で整列させる際に不可欠です。最後に、ユニットは、任意の不整合や不規則性をオペレータに警告する統合アラームマシンを提供します。全体として、MICROTEC 505マスクアライナーは、マスクアライメントプロセスの精度、精度、信頼性を提供する強力なツールです。統合ビジョンツール、高解像度、アラーム資産、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、フォトリソグラフィーアプリケーションに最適です。