中古 KARL SUSS / MICROTEC 260MS022 #9316168 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC 260MS022マスクアライナーは、厚いレジストや多層アプリケーションに使用される強力で正確なリソグラフィ装置です。これは、市場で最も先進的なマスクアライナーの1つであり、高スループット、精度と速度のための最適化された光学、高品質の画像解像度、効率的でユーザーフレンドリーな操作とメンテナンスのための信頼性の高いオートメーションなど、ユニークな機能の組み合わせを提供します。MICROTEC 260MS022は、2軸の鋳鉄製クローズドループシステムを使用して、レチクルと基板ホルダーをX軸とY軸に沿って正確に移動させ、レチクルと基板を正確にフォーカスします。2軸の鋳鉄設計により、安定性を向上させ、振動を最小限に抑え、優れたアライメント精度を提供します。アライナーには、露出後12µmレジストのプロファイルを測定および検証するための垂直長距離変位および内蔵の3Dプロフィロメータも装備されています。アライナーは、ユーザーフレンドリーな操作とメンテナンスに必要なすべての機能を提供する高度なソフトウェアプラットフォームを搭載しています。強力なトラッキング、アライメント、検査機能を備えており、正確で正確な結果を自動的に提供します。さらに、リアルタイムモニタリング、アライメントプロセスを微調整する調整機能、ワークフローを制御および整理するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。KARL SUSS 260MS022は、±2µm速度で125µm/sの非常に正確なアライメント精度に到達することができます。装置に3lp/cmから200lp/cmの決断の0.75Xから12。5xまで拡大の範囲があります。アライナーは、25〜40ウェハ/時間のスループットで、片面または両面の基板上に2"×2"〜8"フルフィールドの処理を提供できます。マスクアライナーには、光源と明るいフィールド照明が装備されており、制御と精度を向上させます。これらの機能と高品質の光学および精密エンジニアリングを組み合わせることで、260MS022は優れた性能、精度、信頼性、および費用対効果を提供することができます。この包括的な装置は、大量生産環境のニーズを満たすように設計されており、PCB、 MEMS、および半導体産業のリソグラフィ用途に最適です。