中古 KARL SUSS / MICROTEC 1169901 #293614725 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC 1169901は、マイクロエレクトロニクスおよびナノテクノロジー部品の製造におけるフォトリソグラフィープロセスに使用できる半自動マスクアライナーです。強力なマスク操作と高解像度イメージング機能を備えています。アライメントシステムは、マスクと基板の間の正確な距離を測定し、マスクを正確なX-Y-Z座標で移動させて、目的のパターンを基板に合わせます。ユニットの作業面積は122 x 122 mmで、解像度は5 µm、精度は1。5 µmです。MICROTEC 1169901は、コンピュータ制御のXYZテーブルと電動マスクステージを内蔵しています。KARL SUSS 1169901マスクアライナーは、有機または陽極酸化アルミニウム、シリコン、ガラス、石英、溶融石英など、幅広い材料を露出するために使用できます。このマシンはまた、80 mW/cm2の露出で動作することができ、1：1000の間の強度比。さらに、このツールは、デジタルデータロギングとユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを提供します。また、外部光学系との統合されたリアルタイムイメージングおよび制御統合、および最大スループットのための詳細なアライメント処理シーケンスをプログラムする機能も備えています。さらに、自律レンズは外部光学校正なしでも正確なアライメントを保証します。1169901マスクアライナーは、微細加工、ウェハレベルのカプセル化、積層ダイのカプセル化など、さまざまな分野で使用するために設計されています。高精度のアライメント結果を提供できる信頼性の高いマスクアライナーを必要とする研究者、エンジニア、メーカーにとって、費用対効果の高いツールです。