中古 KARL SUSS AltaSpray #9278861 を販売中
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KARL SUSS AltaSprayは、マイクロチップやその他の集積回路部品の製造でよく使用される精密マスクアライナーです。KARL SUSS社が製造しており、独自のスプレー技術と精密なアライドマスクを組み合わせています。この設計により、トランスファープロセス中に基板にパターンを正確かつ一貫して転送することができます。AltaSprayは、基板上の非常に小さな複雑な形状の製造であるナノリソグラフィ用に設計されています。高解像度撮影が可能な高精度投影レンズを採用しています。さらに、特許取得済みのステージを使用して、マスクと基板の正確なアライメントを保証します。これにより、任意の基板への転送プロセスの高精度、再現性、再現性が可能になります。KARL SUSS AltaSprayは、パーティクル検出や制御システム、自動マスク洗浄およびメンテナンスシステムなどの自動機能も備えています。これらの機能は、噴霧プロセスの精度と効率を向上させるように設計されています。AltaSprayは主にマスク投影リソグラフィの原理に基づいて動作します。この過程では、マスクを通してデジタルパターンイメージが基板に投影されます。マスクは投影レンズと基板の間に配置され、UV光源で照らされます。この光源とマスクの組み合わせは、マスクアライナーとして知られています。マスクと基板を揃えると、希望するパターンが基板に投影され、残りの部分がブランクされます。これは、転送プロセス中にパターンを正確に配置するのに役立ちます。KARL SUSS AltaSprayは、高品質のパターンを確保するために、特許取得済みのスプレー技術を使用しています。このスプレー技術には、レジストの噴霧スプレー、またはリソグラフィープロセス中に基板をエッチングから保護するために使用される材料の組み合わせが含まれます。レジストと基板が接触したら、安定した保護層を形成し、望ましいパターンを基板にエッチングすることができます。AltaSprayは、リソグラフィーパターンを基板に転送するための非常に効果的なツールです。毎回正確で再現性のある結果を保証するように設計されており、集積回路やその他のデバイスの迅速かつ効率的な生産を容易にします。
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