中古 KARL SUSS 260MS022 #9252212 を販売中

KARL SUSS 260MS022は、フォトリソグラフィで使用される完全に自動化された最先端のマスクアライナーで、集積回路やその他のマイクロデバイスにパターンを正確にエッチングします。アライナーは、フォトマスクから生成されたパターンを追跡するように設計されたコンポーネントの組み合わせで作られています。この組み合わせには、マイクロステッピングモーター、制御ユニット、ステッピングナンバーエンコーダ、ガラスレチクルステージ、エミッションノズル、マスクアライメントシステム、試料チャックが含まれます。これらのすべてのコンポーネントを組み合わせることで、Mask Alignerは高精度と精度を提供し、結果として得られるエッチング結果が一貫していることを保証します。マスクアライナーのマイクロステッピングモータは、精度の高い回転を実現します。接触せずに動作し、強化されたモーションコントロールを作成します。モータは、エッチングパターンの最高解像度を確保するのに役立ち、デバイスから発生する熱負荷を低く保つ小型およびロープロファイル設計を備えています。ステッピングモーターの速度を制御するために作られているコントロールユニットは、オペレータがモーターの速度を調整し、したがってエッチパターンを調整することができます。これにより、オペレータは必要なエッチングパターンを正確に作成することで、真にカスタム製品を作ることができます。Stepper Number Encoderを使用すると、パターンセットに従ってマスクを移動するためにアライメントシステムがどのくらいのステップを取るかをオペレータが選択できます。これにより、ステージを正しく移動するために必要なステップ番号を選択するのはオペレータ次第であるため、アライメントシステムの高さを調整する際に、オペレータはより多くの制御と精度を得ることができます。ガラスレチクルステージは、ウェーハ上の正確な位置にフォトマスクを配置するときの精度を可能にし、マスク上のチップレイアウトエリアを識別するために使用されます。MaskAlignerの放射ノズルは、フォトマスクに液体材料を噴霧し、正しいエッチングパターンを確保します。最後に、少なくとも、標本チャックです。この機能は、エッチング処理を開始するタイミングに合わせてウェーハを安全かつ正確に保持するために使用されます。これにより、ウェーハ上のパターンとマスク上の転送パターンのアライメントを維持することができます。これらのすべてのコンポーネントが連携して、高価でデリケートなフォトマスクの無駄を最小限に抑えて最高解像度のパターンを生成できる、洗練された効率的なマスクアライナーを提供します。260MS022は、マイクロエレクトロニクスデバイスの生産に理想的なマスクアライナーです。