中古 JAPAN SCIENCE ENGINEERING MA-4201 #293630318 を販売中

JAPAN SCIENCE ENGINEERING MA-4201
ID: 293630318
Aligner.
JAPAN SCIENCE ENGINEERING MA-4201 Mask Alignerは、フォトリソグラフィを用いた集積回路(IC)のエンジニアリングに使用されるハイエンドデバイスです。このマシンには、堅牢な真空システム、信頼性の高い光源、および写真マスクの正確なロボット配置とアライメントが装備されています。ICやボンドウエハの大量生産に使用できるように設計されています。マスクアライナーは5ミクロンのアライメント精度を備えており、複数のICを設計する際に高いリピート精度を実現します。フォトツールは、1つのマスクを使用して、金属層または誘電層の多くの層を一度に整列およびパターン化することができます。これにより、高速運転が可能になり、プロセス効率が向上します。このデバイスには、手動、半自動、フルオートなど、さまざまな操作モードがあります。マニュアルモードでは、ユーザーは手動でマスクをウェーハの上に移動し、光源を調整して均一な露出を確保します。半自動モードでは、ユーザーは特定のパラメータに入り、マシンは自動的にマスクを揃えます。全自動モードでは、ユーザーはプログラムを選択し、マシンは自動的に指定されたパラメータで各レイヤーを揃えてパターン化します。マスクアライナーは、他のマスクアライナーよりも2つの利点があります。まず、20ナノメートルの解像度を持つ高分解能イメージングシステムを搭載し、IC上のパターンを非常に小さく複雑にすることができます。第二に、振動分離テーブルを備えており、アライメントおよびパターニングプロセスを実行するときにマイクロリピートエラーを防ぎます。これにより、ICは最高品質の基準で製造されることが保証されます。MA-4201マスクアライナーは、ICの高速・高精度生産に理想的な機械です。信頼性が高く、使いやすく、高い精度と再現性を提供します。このデバイスは、大量生産と研究の両方の目的に最適です。
まだレビューはありません