中古 HTG UV 3000A #9115291 を販売中

HTG UV 3000Aマスクアライナーは、ウェーハ表面へのマスクパターンのタイトなアライメントを作成するための半導体製造業界で使用されるデバイスです。レーザベースのマスクアライナーで、高濃度紫外線（UV）を使用して、単一のマスクパターンを1つのウエハに正確に配置します。このデバイスは、集積回路（IC）およびその他の電子デバイスの製造に使用されます。この装置は、さまざまなプロセスに適したさまざまな機能を備えています。単体またはマルチマスクアライメントが可能で、1つのマスクパターンを別のマスクパターンにアライメントするため、またはステレオアライメント用に設定することができます。ステッピングモーターとガルボシステムは高精度のアライメントを提供し、精度は1。5um、最大解像度は0。3umです。効率的なアライメント操作が可能で、最小サイクルタイムは1。5秒です。高精度のカメラを内蔵しており、マスクの正確な登録とアライメントを可能にする自己キャリブレーション投影機を使用しています。このデバイスには、高速で正確で再現性のあるスキャンモニターチェックを提供するフルフィールドインターフェロメータ（FFI）も搭載しています。このツールはまた、迅速かつ正確なフレーム認識のためのレーザーベースのパターン認識資産を持っています。また、正確なマスクアライメントを確保するために、オンザフライパターン調整を実行する機能も備えています。UV 3000Aは、すべてのオペレータが修飾された製造プロセスに必要とするオールインワンモデルであるように設計されています。複合顕微鏡、ビデオモニター、ジョイスティックコントローラを内蔵した光学機器を内蔵しています。システムはユーザーフレンドリーで、特定のタスクのワンボタン操作が可能です。また、ユーザーフレンドリーなCADインターフェイスを備えており、タスク定義とパラメータ設定を迅速かつ簡単に行うことができます。全体として、HTG UV 3000Aは、複雑な半導体製造プロセスで使用するために設計された高度なマスクアライナーです。マスクパターンのタイトなアライメントを確保し、品質と信頼性で効率的な生産を可能にする効率的で精密なユニットです。