中古 HTG System 1 Model 84-3 #156406 を販売中

HTG Equipment 1 Model 84-3は、半導体マスクパターンをダイチップに正確に合わせて露出するように設計された高精度マスクアライナーです。5。5インチの画像フィールドと100ミクロンの解像度で最大5インチウェーハのイメージングが可能です。単軸電動のX/Yステージと複数のアライメントセンサを搭載し、マスクパターンをダイチップに正確かつ再現可能にアライメントします。このシステムには、ユーザーフレンドリーなミクロンコントローラを介して操作できる調整可能なシャッターコントロールユニットを備えた固定高輝度UVソースが含まれています。UVソースにより、デバイスのパターンを露出させることができ、シャッターコントロールマシンはパターン露出時間を正確に制御することができます。オートローダーは手動操作を必要とせずにウェーハの自動積み下ろしを可能にします。機械の光学系は、収差と歪みを最小限に抑えるように設計された構造の水晶投影レンズを備えています。調節可能な虹彩は、マスクされた露出プロセス中のデバイスパターンの正しい照明を可能にします。さらに、光学系にはレチクルエンコーダとダイチップエンコーダという2つのセンサーがあり、ダイチップとマスクを正確かつ再現可能にウェーハに配置できます。機械は環境保護の特徴の範囲が装備されています。このような機能には、窒素パージツール、複数のフィルターファン、ウェーハアライメント制御アセットが含まれ、ウェーハとマスクのアラインメントが常に維持されます。全体的なモデル1モデル84-3は、半導体デバイスのパターンをダイチップに正確かつ正確に露出させるための強力で信頼性の高いデバイスです。そのユーザーフレンドリーで直感的なユーザーインターフェイス、機能の多様なセットと組み合わせて、高性能マスクアライナーを提供します。