中古 HTG 84-3 #9198923 を販売中

製造業者
HTG
モデル
84-3
ID: 9198923
ヴィンテージ: 1986
UV Mask aligner With microscope UV Lamp power supply High resolution Sub-micron printing Contact and proximity exposures Scale production alignment capability Silicon, GaAs, LiNb, InP Consistent printing: Wafers Rectangular substrates Odd sized / Brittle materials Single or split field viewing Up to 600x magnification on the optics Alignment accuracy: ±1 µm Precise wafer to mask leveling Highly collimated UV/deep UV exposure systems Two channel intensity controlling power supply systems Stationary alignment tooling Vibration isolation console Differential micrometers Self planarizing chucks Wafer chuck and mask holder included Wafer chuck motions: X, Y, Z and ø (direct drive) Z-Axis adjustment: ±750µ Air-bearing planarization system Wafer / Substrate size: Up to 6.0" wafers / Square substrates Mask rotation: 180° Mask size: 7.0" x 7.0" Vacuum mask clamp Pneumatic mask assembly lift Front side alignment accuracy: <0.5µ Printing resolution: Near UV: <0.8µ Mid UV: <0.4µ Deep UV: <0.3µ Control functions: Power Test Substrate vacuum Mask vacuum Contact vacuum Expose Cycle Skip Mask lift N2 Purge Timer: 000.1 to 999.9 sec 0.1 increments Gauges: System vacuum Contact vacuum N2 1986 vintage.
HTG 84-3は、半導体デバイスの製造工程で使用されるマスクアライナーです。半導体マスクを最高の精度と精度で整列・パターン化できる先進的なツールです。84-3の主な部品には、マスクアライナー本体、真空チャンバー、真空装置があります。マスクアライナー本体は、X-Yステージ、レーザーアライメントシステム、真空ユニットで構成されています。マスクアライナー本体は、真空チャンバー内の適切な位置にマスク、レーザー投影機、真空アライメントステージを移動する責任があります。レーザー投影ツールは、レーザー源、コリメータ、およびマスクとウェーハにレーザー光を投影してそれらを整列させる一連のレンズで構成されています。レーザー光源は通常、ヘリウムネオン(He-Ne)レーザーです。コリメータは、レーザービームをマスクまたはウェーハの小径に集中させるために使用されます。レーザー投影アセットには、マスクとウェーハの位置や形状の不規則性を検出するために使用される検査モデルも含まれています。検査装置は、マスクとウェーハの画像をキャプチャすることができるカメラのシリーズで構成され、エラーのために事前にプログラムされたデータと画像を比較します。真空チャンバーは、正確なアライメントのためにマスクとウェーハをシールするために使用されます。チャンバーには真空システムが内蔵されており、アライメントプロセスの精度を妨げる圧力の蓄積を防ぎます。真空ユニットはまた、ほこりの粒子や他の破片による汚染からマスクとウェーハを保護します。HTG 84-3は高精度で精度が高く、0。0025mm以内の精度でマスクやウェーハを整列させることができます。機械はまた速く、0。2秒以内にマスクおよびウエハを整列させることができ、接触および非接触マスクのようなさまざまな適用に、使用することができます。全体的に84-3は、優れた性能と精度を提供するように設計された汎用性と信頼性の高いマスクアライナーです。その精度と精度は、半導体デバイス製造にとって貴重なツールとなります。
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