中古 HTG 84-3 #18003 を販売中

HTG 84-3は、効率的なフォトリソグラフィープロセスを念頭に設計された最先端のマスクアライナーです。この自動化された機械はレーザー技術を使用して薄い基質に正確にマスクを整列し、エッチングします。この装置は、最大40 nmの解像度でパターンを生成できます。ステッピングステージと光学ユニットからなる自動パターニングシステムを搭載しています。ステッピングステージは、マスクパターニング要素を基板上に正確に配置および整列させるために機能します。マスクの配置に必要な座標を読み取るために光学機器を使用します。また、光学ツールは、パターニングプロセスで使用されるレーザービームをフォーカスするためにも使用されます。84-3で使用されるレーザー技術は、最大1。78 kWの電力レベルで動作する窒素レーザーです。このレーザーは、精密加工された部品で高精度なパターンを生成するように設計されています。レーザーの薄膜構造は、パターンのアライメントとエッチングのプロセスで再現可能な精度を保証します。マスクアライナーは、ツールのセットアップと機能認識に使用されるソフトウェアによって補完されます。このアセットを使用すると、ツール設定のプログラミング、基板特性の指定、基板レイアウトの登録ができます。パターン認識機能により、モデルは複雑な空間的特徴を識別して測定できるため、アライメントとエッチング結果を最適化できます。HTG 84-3はガラス、水晶、アルミナおよび他の薄膜の基質を処理できます。この機械には高圧冷却装置が装備されており、処理のすべての段階で精度を保証し、最終パターンで熱安定性を提供します。さらに、レーザー切断工程では窒素ガスを利用し、表面汚染を最小限に抑え、プロセス速度を向上させ、高品質なパターニング結果を得ることができます。全体として、84-3マスクアライナーは、今日のフォトリソグラフィープロセスのニーズを満たす強力なツールです。汎用性の高いレーザー技術、最先端のパターン認識機能、薄膜加工オプションを備えたこのマシンは、生産プロセスや研究努力を次のレベルに引き上げます。