中古 HTG 36-3 #69873 を販売中

HTG 36-3は、接触リソグラフィを容易にするように設計されたマスクアライナー装置です。露出ツール、開発ツール、研磨アライメントツール（PAT）からなる3段階のシステムです。露出ツールは、マスクをウェーハ表面に露出させるように設計されています。ウェーハ上の13ミクロンのスポットに出力が集中する1-kW Xeランプで、マスクを36度の固定角度でスキャンすることで動作します。開発ツールは、高度に選択的な開発者を使用して、ウェーハ上に所望のパターンを形成します。開発ソリューションのpHは、望ましい選択性を達成するために調整可能であり、毎分最大2ミリリットルの流量を持つオートサイリンゲユニットから供給されます。このツールはまた、入口と排気空調機、および開発ソリューションの温度を維持するためのホットプレートを備えています。PAT （Polishing and Alignment Tool）は、露出ツールと開発ツールによって形成されたパターンを精製して整列させるために使用されます。それは2つのアライメントシステムのための2つの光学ヘッドが装備されています。PATは、加熱可能な作業ステージ、制御された厚さの基板テーブル、および画像観察用のCCDカメラを備えています。また、レーザー干渉計とCNCコントローラを使用して、基板に対してマスクを正確に配置します。さらに、PATには、望ましくない粒子や酸化層を除去し、より滑らかなパターンを確保するための研磨機能があります。全体的に36-3は、シリコンウェーハ上に複雑なパターンを形成できる信頼性の高い効率的なマスクアライナーツールです。これは、回路パターンの正確なアライメントを必要とするさまざまなマイクロエレクトロニクスデバイスメーカーにとって有益です。