中古 HTG 314-5 #114653 を販売中

HTG 314-5マスクアライナーは、複雑な電子機器の製造に使用されるマスクやレチクルの正確かつ正確なアライメントを保証するために使用される自動化デバイスです。マスクアライメントは、フォトリソグラフィの不可欠な要素であり、マスクまたはレチクルパターンを光の露出を介して基板に転送するプロセスです。314-5は最高の生産性のために設計されている高精度、高精度のマスクのアライナーです。高いトルクステッピングモーターによって駆動されるデュアル独立した10インチの昇降ステージと、手動の反復イメージングサイクルを排除する自動シーケンシングシステムを備えています。また、フラットで安定したイメージング面を確保するために、精密ベースバキュームシステムを備えた真空チャックを備えています。モニターは、ライブ画像の表示と自動パターン認識を可能にします。HTG 314-5は非常に汎用性の高い6軸電動マニピュレータを使用しており、XY軸とZ軸の両方を提供します。314-5は基質の非常に小さいセクションの物理的特徴を測定する高度の光学顕微鏡を含んでいます。この顕微鏡は、アライメントに最適なポイントを選択するためにも使用できます。HTG 314-5は、プレマスクアセンブリ用の効率的なデバイスです。これにより、パターンプレートまたはレチクルおよび基板の高速かつ正確なアライメントが可能になり、ユーザーの介入を最小限に抑えます。また、高い位置合わせ精度を確保するために、複数のパターン補正機能を備えています。これにより、高速なプロトタイピングと並列生産が可能になります。また、バッチ処理機能も備えており、複数のジョブを順番に実行するようにプログラムすることができます。314-5は日立ハイテクノロジーグループが製造する高精度マスクアライナーです。このデバイスは、フォトリソグラフィープロセスで使用するように設計されており、このプロセスで使用されるマスクとレチクルの再現可能な高精度アライメントを提供します。これは、高速かつ正確なイメージング、複数の補正機能の組み合わせを提供し、バッチプロセスを実行するようにプログラムすることができます。HTG 314-5は、パターン転送の速度と精度を向上させるための汎用性の高いマスクアライナーを提供しています。