中古 HITACHI Hitech #9359868 を販売中

HITACHI Hitechは、最も要求の厳しい物理蒸着（PVD）およびフォトリソグラフィープロセス用に設計された高性能マスクアライナーです。フルスイートの機能を備えたHitechは、大規模生産から精密なエッチングおよびパターニング作業まで、さまざまなアプリケーションを実行するのに最適です。HITACHI Hitechは、先進的なマスクアライメント技術とハイエンド光学部品と精密なマイクロメーター制御モーションステージを組み合わせ、再現可能な精度で一貫した結果を提供します。この装置は、高度なX-Yステージを備えており、0。1ミクロン単位まで移動して、正確で正確なマスクのアラインメントを行うことができます。さらに、Hitechは、効率的かつ時間を節約する方法で複数のレイヤーアラインメントを行うための継続的な非真空インデックス技術を組み込んでいます。HITACHI Hitechはまた、埋め込みチャネル技術により優れたウェーハ均一性を提供し、ウェーハの表面に一貫したエッチング率を維持します。さらに、パターンの細部まで検出し、ウェーハ表面をスキャンして最高レベルの補正を行うことができる有機共焦点画像技術を搭載しています。革新的な機能として、Hitechは強力なモータユニットとカスタマイズされたトラックコンポーネントでステッパー統合プロセスを実行することができます。このレイアウトは、ユーザーが優れたプロセスの均一性と独特の製品品質を達成することができます。さらに、10x測定機能を内蔵しているため、データを簡単に記録して分析し、最適化された層の堆積を行うことができます。HITACHI HITECHはオールインワンパッケージとして、複数のアプリケーションをサポートするさまざまなコンポーネントを取り揃えています。このマシンは、3D伝送アライメント操作のための多目的サンプルステージと高性能を確保するための専用サポートコンポーネントの配列を提供します。さらに、パターンオーバーレイのアライメントとサンプルの正確な認識のための最高レベルの精度を提供する高度なビジョンツールを標準装備しています。全体として、HitechはさまざまなPVDおよびリソグラフィープロセス用に設計された高度なマスクアライナーです。HITACHI HITECHは、高速で正確かつ再現性のある結果を提供することで、最適なエッチングと層の成膜精度を実現する優れた性能を提供します。包括的な機能とコンポーネントを備えたHitechは、業界をリードする多くのメーカーにとって好ましいマスクアライナーです。