中古 EVG / EV GROUP EV 640R #9175004 を販売中

EVG/EV GROUP EV 640R Mask Alignerは、フォトニック、電子、ナノテクノロジー部品の大量生産のための基板とマスクパターンの正確なアライメントを提供するために設計された先進的なツールです。EVG EV 640Rは、半導体、MEMSおよびNEMS製造、光学リソグラフィ、マイクロ流体製造、およびその他のナノテクノロジーに焦点を当てた産業プロセスのアプリケーションに適しています。EV GROUP EV 640R Mask Alignerは、最大6。4インチx 6。4インチの高精度なアライメントを提供し、回折限界のある完璧さと長期安定性を兼ね備えています。EV 640Rは、2つの独立した軌道モーターを使用して、最適な位置決めと基板とマスクパターンの迅速かつ正確なアライメントを実現します。これにより、低コストのフォトリソグラフィ処理が可能になり、時間とエネルギー消費が少なく、最高解像度の機能を実現できます。EVG/EV GROUP EV 640Rは、ナノメートルアライメント解像度を必要とする産業用途に最適です。このシステムは、オートフォーカス光学センシングを使用しており、生産プロセスで70nm以下の自動範囲のアライメント精度を提供します。マスクと基板の正確なアライメントに加えて、EVG EV 640Rを使用して基板上のさまざまなポイント間の距離を正確に測定することもできます。EV GROUP EV 640Rは、高精度で信頼性の高い保護アルゴリズムと高精度のパターン配置認識を利用しています。これにより、基板とマスクのパターンが常に一致することが保証されます。このシステムには、基板とマスク間の正確な平面化のための特許取得済みのインデックス作成およびレベリング技術も搭載されています。EV 640Rは、アライメント精度に加えて、生産性を向上させるための幅広いオプションを備えています。自動ウェーハクランプ、精密なオーバーレイのための高精度ビーム制御、柔らかい基板の穏やかな処理のための最適化された真空制御が含まれています。EVG/EV GROUP EV 640Rは、高速な生産速度と高い信頼性を提供します。広い作業エリア、スケーラブルな設計、迅速なマスク交換により、EVG EV 640R、迅速なスループットと精度を必要とする生産プロセスにとって貴重な機器となります。このシステムには、大型タッチスクリーンディスプレイとユーザーフレンドリーなインターフェースが装備されているため、EV GROUP EV 640R生産効率を向上させたい人に最適です。