中古 EVG / EV GROUP EV 640 #9287507 を販売中

EVG/EV GROUP EV 640は、半導体および集積回路デバイスの製造に使用されるように設計されたウェーハステッパーおよびマスクアライナー装置です。このシステムは、完全に自動化された汎用性の高いマスクアライメントプラットフォームを備えており、迅速かつ効率的な生産を可能にします。単位はより高い統合および層数の装置の生産で特に有用です。EVG EV 640マシンは、1µmに正確な複数のアラインメントとオーバーレイに使用できます。そのパターンと感光材料は、さまざまな基板の加工をサポートしています。例えば、このツールは1 nmのスキャン解像度と0。1ミクロンのプラットフォーム解像度を持っています。この資産には、最高の品質と結果の均一性を確保するために、さまざまな先進技術が組み込まれています。これらには、基板上に5ミクロンの薄い位置に配置するための面積/ラインセンサ、12インチの基板上に配置するための独自のマイクロテクノロジー、エッジレス、多機能フレーム補償器、および少数の名前を付けるための高速ダイバイ認識モデルが含まれます。また、電子倍率アダプタと光学測定システムを搭載しており、生産工程の均一性を実現します。これらの機能と多くの機能は、ユニットの高スループットに貢献し、より迅速かつ正確なプロセスを可能にします。自動化された制御により、マシンは特定の生産要件を満たすためにスループットを最適化できます。このツールには、フルサービスのソフトウェアパッケージとハードウェアインターフェイスも含まれており、本番データへの高速アクセスを提供し、ユーザーが仮想プロトタイプを作成して本番プロセスの自動更新を受け取ることができます。自動化された制御ソフトウェアにより、アライメントプロセスが簡素化され、ジョブの設定と監視が容易になります。EV GROUP EV 640は、高度な技術により、精度と生産性を向上させます。高精度な結果を生み出し、生産時間を短縮することができるため、効率的で大量生産に適しています。