中古 EVG / EV GROUP 640 #9210352 を販売中

EVG/EV GROUP 640は、幅広い半導体デバイスや先進的なフォトニクスデバイスを製造するための高精度フォトリソグラフィのための広く使用されているマスクアライナーです。高いパターン忠実度、高いスループット、正確なアライメントにより、製造および半導体デバイスの製造に最適化されています。基板変位を感知するフィードバックユニットと微細なモーションステージを採用し、正確なアライメント精度と再現性を提供することで、5nm分解能アライメントと5nmステップとリピートをさらに向上させました。この機械は高度な計測機能を備えており、プロセス性能が向上しているため、チップ設計者はチップ性能を最大限に引き出すことができます。このツールは、チップサイズとパッケージング構成の広い範囲を可能にし、接触、重ね合わせ、積み重ね、ポリウエハ技術など、さまざまなアライメントターゲットを可能にします。さらに、アセットは、円形、楕円形、その他の形状、および古典的な「U」（垂直サイドウォール）形状などの非平面形状を処理することができます。EVG 640の露光時間は他の従来のリソグラフィーシステムよりも速く、通常は10〜20mしか必要ありません。このモデルはサブナノメートルの歪みを検出でき、高解像度とアライメント精度を実現できます。機器の光学系も、ゴーストイメージングを低減しながらフレアを最小限に抑えるように設計されています。高速基板ローディングを実現するクイックロードアライメントステージを搭載し、長寿命の投影レンズを搭載。また、高度なソフトウェアパッケージと、マシンのセットアップと制御を容易にする強力なグラフィックユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。このGUIは使いやすく、露出設定の自動最適化やオートフォーカスキャリブレーションなどの多くの機能を提供します。ソフトウェアパッケージはまた、幅広い正確なパターンシミュレーション機能を提供します。EV GROUP 640は、研究と生産の両方で高度なリソグラフィ用途に最適です。その堅牢なデザイン、優れた性能、そして高品質な結果により、様々な賞のために複数回にわたってショートリストアップされています。