中古 EVG / EV GROUP 640 #9200558 を販売中

ID: 9200558
Spare parts Robot controller Mercury lamp power supply Shutter Fly eye Mirror Lithography robot 2 (1 belongs to the 2nd machine, a spare part) Photo lithograph bottom microscope Mask holder Lithography mirror and board Pneumatic bar Image acquisition Control module Cable.
EVG/EV GROUP 640は、マイクロエレクトロニクス製造技術で使用される高度なマスクアライナーです。半導体ウェーハやガラス基板上の接触部などのパターンを露出させるリソグラフィープロセスに使用されます。EVG 640は、多様な基板のアライメントと露出に適しています。多機能であり、減算プロセスと添加プロセスの両方、およびマルチステップ処理を実行できます。EV GROUP 640は0。12 µmまでの分解能を実現し、DRAMやSRAMなどの小型半導体チップの製造に最適です。また、高精度で広い領域を露出することができます。これにより、アライナーはさまざまなサイズのバンプやビア、正確なパターニングなど、さまざまなサイズと形状に適しています。均一なアライメント、露出品質、長寿命により、生産ラインにおいて信頼性が高くなります。アライナーには、パターン認識技術を使用して露出パターンをキャプチャする自動統合アライメントシステムが含まれています。アライメントシステムは、高度なガイド技術と位置決め技術、さまざまなビーム偏向技術を組み合わせて、正確で一貫したアライメントを提供します。透明基板ホルダーは、高度なプロセスのための複雑な地形のアライメントを可能にします。640は、低コストで最大のスループットを提供します。迅速なエクスポージャーと使いやすいソフトウェアにより、操作が簡素化され、ユーザーは製品設計の開発と最適化に集中できるようになります。また、カスタマイズのためのモジュラープラットフォームを提供し、特定のアプリケーションに合わせてカスタマイズすることができます。さらに、EVG/EV GROUP 640には、さまざまな高度な安全機能が搭載されています。これには、不正アクセスや改ざんから保護する高度なセキュリティシステム、および不適切な操作と潜在的な危険な状況についてのタイムリーな警告と警告を提供する監視および制御機能が含まれます。全体として、EVG 640は、幅広い生産ニーズに適した強力で汎用性の高いマスクアライナーです。高精度で堅牢な再現性と堅牢な安全機能を備えているため、信頼性と効率的なリソグラフィープロセスを求めるユーザーに最適です。
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