中古 EVG / EV GROUP 640 #9200554 を販売中

EVG/EV GROUP 640は、完全自動化されたマルチチャンバーマスクアライナーです。精密光学、マイクロエレクトロニクス、半導体デバイスの製造に使用されています。このアライナーは、パターン配置とオーバーレイのための精密ツールであり、歪みと正確なアライメント精度を最小限に抑えます。9マイクロメートルの配置精度と10 nmのオーバーレイ精度を実現しています。この高度なマスクアライナーは、直径6インチのプロジェクションレンズ、25nm解像度のロボットX -Y -Zステージ、3つの高解像度デジタルカメラなど、さまざまなコアコンポーネントを備えています。ユニットは1回に最大3枚のマスクを処理でき、シングルとマルチショットの2つの露出モードを備えているため、すべてのレイヤーを高速かつ正確に露出できます。このマシンのスティグマ転送機能により、インターレベルオフセットを積極的に補正することで、アライメント精度を最適化できます。1ショットと2ショットの両方の露出に6ゾーンのアライメントを提供します。また、静電チャック平坦性やモニタリング、ゼロライン移動機能を使用した高速マスク交換、さまざまな自動ウェーハおよびマスク処理機能、低粒子成膜など、さまざまな機能が統合されています。また、マルチレイヤーデュープレックススペーサアライメント基板とジョブごとに最大4つのアライメントフィジカルを露出することができます。EV GROUPEVG 640は、パターン配置とオーバーレイのための強力で正確なツールです。精密光学、エレクトロニクス、半導体デバイスの効率的な製造プロセスを提供します。堅牢な機能により、高精度の微細加工ニーズに対応する信頼性の高いソリューションです。