中古 EVG / EV GROUP 640 #293809531 を販売中

EVG / EV GROUP 640
ID: 293809531
Mask aligner.
EVG/EV GROUP 640は、フォトリソグラフィ工程で使用されるマスク上のパターンの正確な配置とアライメントを高精度で提供するマスクアライナーです。このハードウェアは、コンパクトなサイズのためにスペースとリソースを最小限に抑える必要があり、複数の構成により、さまざまなフォトリソグラフィ操作に最適です。EVG装置は一連のデジタル光学および精密スキャン段階を特色にする光学ビームプラットフォームに基づいています。このプラットフォームは、電動ガントリーに搭載された光学目的、XYスキャンステージ、およびZ軸ステージで構成されています。各ステージは独立しており、使用されているマスクを正確に配置するために使用できます。この目的には、さまざまなパターン形状に最適なイメージングスポットサイズを作成するために調整可能なミラーが取り付けられています。EVG 640には高精度マニュアルX -Yアライメントテーブルがあり、ユーザーはマスク上のパターンのアライメントを手動で調整して特定の要件を満たすことができます。さらに、x-yアライメントテーブルには「、ツールなし」の製品機能が搭載されており、ユーザーはツールを使用せずにマスクを調整して再配置することができます。EV GROUP 640アライナーを実行するソフトウェアは直感的で使いやすいです。グラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えており、設定はさまざまなアプリケーションで簡単に調整および操作できます。640は堅牢なシステムであり、サブミクロンのアライメント精度と再現性を作り出すことができます。また、手動ローディングまたはロボットローディングユニットのいずれかを選択できます。ロボットローダーを使用すると、複数のアライメント操作を迅速かつ簡単に実行でき、セットアップ時間を最小限に抑えてフォトリソグラフィ作業を迅速かつ効率的に完了できます。全体として、EVG/EV GROUP 640は、マスク上のパターンの正確な位置決めとアライメントが必要なフォトリソグラフィーアプリケーションに最適です。コンパクトなデザインと低いオーバーヘッドを備えているため、フォトリソグラフィ用のマスクの迅速かつ正確な位置決めを必要とするあらゆる操作やビジネスに最適です。その直感的なユーザーインターフェイス、ロボットローディングマシン、およびノーツール機能により、効率的で効果的な操作が保証され、ほぼすべてのフォトリソグラフィ要件に最適です。
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