中古 EVG / EV GROUP 640 #293771584 を販売中
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ID: 293771584
ウェーハサイズ: 4"-8"
Mask aligner, 4"-8"
BSA
Non functional robot module
Backside alignment
Joystick
Operating system: Windows 2000
UV LED Light intensity:
365 nm 45 mW / cm2
405 nm 55 mW / cm2.
EVG/EV GROUP 640は、フォトリソグラフィープロセスの半導体業界で広く使用されている汎用性の高いマスクアライナーです。この精密ツールは、シリコンウェーハ上のフォトレジストの正確なパターニングを可能にすることにより、半導体デバイスの生産に重要な役割を果たします。EVG 640は200mmまでのさまざまな基質のサイズを扱うようにとりわけ設計されています、それを研究および生産の環境の両方のための普及した選択にします。EV GROUP 640の重要な特徴の1つは、高い自動化と精度です。装置は高度なアライメントと露出機能を備えており、サブミクロンのアライメント精度を実現します。これは、現代の半導体製造プロセスに必要な厳しい公差を達成するために不可欠です。640はまた、基板材料の面で汎用性を提供し、ユーザーは、シリコン、ガラス、および化合物半導体を含む材料の広い範囲で作業することができます。マスクアライナーはフォトリソグラフィの原理に基づいて動作し、フォトマスクからフォトレジストでコーティングされた基板にパターンを移すことを含みます。EVG/EV GROUP 640は、コリメートされたUV光源を使用してフォトレジストを露出させ、基板全体に均一で正確なパターンを確保します。このシステムは、近接モードと接触モードの両方に対応できるため、ユーザーは特定のアプリケーションに最適なモードを柔軟に選択できます。アライメント機能と露出機能に加えて、EVG 640は生産性と使いやすさを向上させる機能を備えています。このユニットにはユーザーフレンドリーなインターフェースが付属しており、アライメントと露出パラメータの簡単なプログラミングと制御が可能です。また、自動化されたアライメントと露出プロセスのための高度なソフトウェア機能も備えており、手動による介入の必要性を低減し、全体的なスループットを向上させます。EV GROUP 640の主な利点の1つは、モジュール性と柔軟性です。このマシンは、さまざまなアプリケーションの特定の要件を満たすように簡単に構成でき、幅広い研究および生産環境に対応する汎用性の高いツールとなります。ユーザーは、独自のニーズに合わせてツールをカスタマイズするために、さまざまなオプションモジュールやアクセサリーから選択できます。全体として、640マスクアライナーは、半導体産業における高精度フォトリソグラフィープロセスのための強力なツールです。EVG/EV GROUP 640は、高度なアライメントと露光機能、各種基材の取り扱いにおける汎用性、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備え、最大200mmの基板に精密なパターン加工を実現しようとする半導体メーカーや研究者にとって貴重な資産です。そのオートメーション機能とモジュール性は、幅広いアプリケーションに適応できる汎用性の高いツールであり、業界で人気のある選択肢となっています。
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