中古 EVG / EV GROUP 640 #293639247 を販売中

EVG/EV GROUP 640は、半導体製造で使用されるフォトマスクの効率的なパターニング、アライメント、露出のために設計された自動マスクアライナーです。EVG 640は、クォーツとクロムオンクォーツフォトマスクの両方を使用することができ、さまざまなプロセスであらゆるサイズまたは形状のマスクをパターン化する柔軟性を提供します。EV GROUP 640は、ミクロンレベルの精度を持つ2ガントリーロボットシステムを採用し、フォトマスクをウェーハ基板に正確にアライメントできます。このデバイスは、単一の露出内で角度と位置のために個々のマスクを調整することができ、より柔軟性と堅牢な位置決め性能を提供します。リニアモータ駆動ポジショナは、フルカバレッジの高解像度エンコーダと組み合わせて、フォトマスクのアライメントに高い精度と安定性を提供します。640にはユーザーフレンドリーなインターフェイスが組み込まれており、さまざまな簡単にアクセスできる機能があり、効率的な作業プロセスを確保し、ユーザーエラーを最小限に抑えます。レイヤー定義機能、差動マスク配置精度、プロセス回復機能を備えた直感的なコントローラを備えています。また、プログラム可能なマルチレベルビームプロファイルも含まれており、シームレスに調整して最大線量をクリティカルな寸法レベルに保つことができます。EVG/EV GROUP 640には、欠陥検査、プロセス制御、データ収集、分析など、さまざまな機能を提供する高度なソフトウェアが装備されています。このソフトウェアは、マスクごとに露光範囲、露光時間、照明角度、パターン倍率などの最適な露光パラメータを決定します。また、基板補償、線量遅延、複数のゲート機能など、さまざまなタイプの操作を簡単に実行できます。全体として、EVG 640は強力で高度なマスクアライナーであり、さまざまな基板およびプロセスにおけるフォトマスクの高精度なアライメントと露出のために設計されています。その洗練されたソフトウェアと直感的なユーザーインターフェイスは、生産的で効率的なマスクアライメントと露出プロセスに必要なパフォーマンスと使いやすさを提供します。