中古 EVG / EV GROUP 620TBR #9207968 を販売中

EVG/EV GROUP 620TBR Mask Alignerは、高解像度のマスクアライニングとパターニング用に設計された先進的なデバイスです。ウエハベースの完全自動化された装置で、複雑なパターンを生成するプロセスを簡素化しながら、精度と精度を提供します。EVG 620TBRは、ウェーハエリア全体にわたって非常に高いアライメント精度を提供し、サイクル時間は数秒から数分です。また、高分解能パターニングにより高収量の結果を得ることができます。EV GROUP 620TBRは、ユーザーが単一のウエハに異なるパターンを正確に配置し、露出することを可能にする高度な技術を備えています。高解像度の光学アライメントシステムと蒸発露光ユニットを備え、スキャンレンズを使用してパターンのサイズと形状をウェーハに投影します。620TBRは、産業用フィルム、偏光素子、X線マスク素子、その他の薄膜材料など、さまざまな基板タイプを取り扱うように設計されています。また、複数の基板を高精度に自動調整することも可能です。EVG/EV GROUP 620TBRは、ユーザー定義のアライメントパラメータを提供し、アライメント結果のフィードバックを提供する高度な制御マシンを利用しています。各ウェハは、ツールのソフトウェアベースのデータストレージ資産を使用して個別に監視できます。また、ユーザーはバッチ処理を設定することができます。これにより、複数のウエハのパターニングが一貫しており、時間の要求が低減されます。EVG 620TBRは、ウェーハクランプをロックする機能や緊急停止ボタンなど、さまざまな安全機能を備えており、緊急時の操作をすばやく停止できます。さらに、このデバイスにはさまざまな安全センサーが装備されており、環境を積極的に監視し、危険な状況を回避することができます。EV GROUP 620TBR Mask Alignerは、ナノリソグラフィからマイクロエレクトロニクスまで、さまざまなアプリケーションに最適なツールです。その精度と速度に加えて、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと安全機能により、このマシンは商業、産業、および学術研究のための効率的で信頼性の高い選択肢となります。