中古 EVG / EV GROUP 6200TBR #9028178 を販売中

EVG/EV GROUP 6200TBRは、その後のリソグラフィープロセスに備えて基板とマスクを正確に整列させるために設計されたマスクアライナー装置です。これにより、オーバーレイのアライメント精度とステップアライメントとリピートステッパーのアライメントが容易になり、ウェハレベルとパネルレベルの両方のイメージングに最適です。EVG 6200TBRは高度なリソグラフィ機能を提供し、標準に準拠した光学デバイスの製造に最適です。このシステムは、5倍、10倍、20倍の光学レジストをサポートしています。また、内蔵の低温ステージとウエハレベルで機能を整列するための4 μ mの分解能を備えています。EV GROUP 6200TBRは、ウェーハレベルのアライメントタスクに最適な精度を実現する高精度の電動ステージを備えています。ユーザーフレンドリーな設計により使いやすく、セルフチェック機は信頼性の高い性能を保証します。6。5 インチLCDモニターとインテリジェントで自動化された機能を備えており、画像検査が容易です。さらに、6200TBRは、信頼性の高いイメージングを保証するために、高度なスキャン技術と組み合わせて、ビームアライメント、ウェハローディング、オートフォーカス、露出制御機能を内蔵しています。EVG/EV GROUP 6200TBRは、基板の放射線への過剰露出を防ぐ船内安全ツールを搭載し、安全性を考慮して設計されています。この資産はまた、特定のフォトリソグラフィ作業を通じて放射線が安全なレベルに保たれることを保証します。さらに、EVG 6200TBRにはオプションの統合プラットフォームがあり、ユーザーは汚染防止と環境管理を確実に行うことができます。EV GROUP 6200TBRは、マスクアライメントに柔軟で信頼性の高い選択肢です。高度な機能性、正確性、安全性、使いやすさを提供します。高度なイメージング技術を活用することで、6200TBRはすべての処理ステップが正しく整列され、最適なフォトライホグラフィ結果が得られることを保証します。