中古 EVG / EV GROUP 6200 #9296383 を販売中

EVG/EV GROUP 6200は、ウェハレベルのリソグラフィを容易にするように設計されたマスクアライナーです。この精密工具はフォトマスク製造などの半導体業界で使用されています。高解像度の最先端の光学イメージング装置と新しいアライメントアルゴリズムを使用して、EVG 6200はウェーハ上で高精度なパターンを生成することができます。このデバイスには6インチ（152。4 mm）のステーションが装備されており、12インチ（304。8 mm）のウェーハまでのサイズに対応しています。公称分解能0。6ミクロンの独自の光学設計により、優れたアライメント精度を実現しています。使用モードに応じて、ツールのアライメント精度は± 0。01ミクロンの許容範囲に達することができます。EV GROUP 6200の最大オートアライメント速度は最大3200 ミクロン/s2に達し、信頼性の高い迅速なアライメントプロセスを提供します。これにより生産性が向上し、望ましい結果が得られます。6200は、オープンアーキテクチャ環境を可能にする高度にモジュール化されたプラットフォームで設計されています。これにより、ユーザーは独自の回転、インデックス、およびウェーハ処理コンポーネントを使用してシステムをカスタマイズできます。このカスタマイズにより、ユニットの特殊なタスクでのパフォーマンスをさらに向上させます。操作面では、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、ウェーハの配置からアライメント、アライメント後のアクションまで、プロセスを迅速に完了できます。GUIは、ユーザーがプロセスを簡単に監視できる包括的なプロセスフローチャートを表示します。このツールは、フィルムフレームサポート、ウェハフレームサポート、メタルフレームサポートなど、さまざまなサポートを提供します。金属フレームサポートは、基板の積み下ろし時の滑りを防ぐように設計されており、マスクアライナーに安定した安全な環境を提供します。全体的に、EVG/EV GROUP 6200は、優れた精度と正確な結果を提供することができる洗練されたマスクアライナーです。最先端のテクノロジー、モジュラープラットフォーム、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、ユーザーは安全で信頼性の高い方法で高精度プロセスを迅速かつ効果的に完了できます。