中古 EVG / EV GROUP 6200 #9239987 を販売中

EVG/EV GROUP 6200は、直径200mmまでの基板用に設計されたマスクアライナーです。この最先端のマシンは、2つの別々のステージで構成されています。第1段階はダイレクトイメージング（DI）と呼ばれ、基板上にパターン化されたアライメントマークを作成できます。これらの位置合わせマークは、スクリーン平面カメラとデジタルマイクロミラー装置（DMD）を含むプライマリイメージング装置を使用して生成されます。二次イメージングシステムは、充電結合デバイス（CCD）カメラとアクチニック光源で構成されており、基板上のパターン化されたアライメントマークを検出し、所定のオーバーレイ精度に整列させることができます。EVG 6200の第2段階は、フォトリソグラフィ処理に使用されます。この段階では、フォトリソグラフィ技術を使用して基板上のパターンを作成することができます。それは2つのコンポーネントで構成されています。パターン化されたアライメントマークを基板に露出させるために使用される大型の全自動露出ユニットと、フォトレジストを基板にコーティングする高圧スプレーマシン。露出ツールには、露出と加工パラメータを簡単に制御するための専用ユーザーインターフェースが装備されていますが、スプレーアセットにはユーザー定義のコントロールがあり、フォトレジスト層の最適なコーティングが可能です。EV GROUP 6200には、卓越した精度と精度をユーザーに提供する機能が組み込まれています。これには最先端の画像認識アルゴリズムが含まれており、パターン化されたアライメントマークを微細なレベルで識別するために使用されます。さらに、精密な温度制御が可能で、正確で一貫した処理が可能です。また、露光用の高効率で均一な光源を備えています。結論として、EVG/EVGroup 6200は、直径200mmまでの基板用に設計されたマスクアライナーです。基板にパターン化されたアライメントマークを作成することができ、2つ目はフォトリソグラフィ処理に使用されます。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、画像認識アルゴリズム、精密な温度制御、高効率光源など、ユーザーに精度と精度を提供する多くの機能を備えています。