中古 EVG / EV GROUP 6200 #9223335 を販売中

EVG/EV GROUP 6200マスクアライナーは、MEMS、半導体、フラットパネルディスプレイデバイスの製造に使用されるフォトリソグラフィおよび薄膜アライメントプロセス用の高度なツールです。この装置は、x、 y、 z軸の精密なシフトを可能にし、マスク（またはステンシル）および基板層の最適なアライメントを実現するように設計されています。EVG 6200マスクアライナーは、平面内および平面外アライメント機能を備え、1軸あたりの0.5µmの位置決め精度を備えています。また、正確な配置のためのアライメントポイントとノード認識を備えた高解像度カメラシステムを備えています。また、直径110mmまでの標準的な既製光学系および真空チャックとも互換性があります。人間工学に基づいて設計された統合ワークステーションには、ユニットオンチップ処理、高速非同期制御、高度なユーザーインターフェイスが含まれます。すべての部品は統合された産業等級のアルミニウムハウジングに統合され、比類のない安定性のための振動なしのエアマウントの上に置かれます。この機械は操作を簡単にし、繰り返しの正確さおよび製品の均一性を保障する自動口径測定の特徴と設計されています。さらに、可変露出調整とプロファイルを可能にする自動露出機能も備えています。生産性を最大限に高めるため、高性能な手動インデックステーブルと動作ステータス通知を組み込んで、効率的なデバイス処理を実現します。EV GROUP 6200マスクアライナーは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、お客様の特定のアプリケーション要件に合わせて簡単に設定できます。6200マスクアライナーは、パターンと基板の正確なアライメントを可能にし、ライン幅とフィーチャーのずれを低減します。その高精度な位置と回転フィードバックマシンは、必要なプリントを与えるために最低限のアライメントエラーを保証します。このツールは、さまざまな熱可塑性プラスチック、低熱伝導性材料、および高精度の印刷パッドやビア用の金属と互換性があります。さらに、このツールはエネルギー効率が高く、エネルギー料金の削減と環境品質の維持に役立ちます。