中古 EVG / EV GROUP 6200 #9168654 を販売中

ID: 9168654
Double sided mask aligner.
EVG/EV GROUP 6200マスクアライナーは、半導体製造、マイクロエレクトロニクス、フォトニクス産業におけるリソグラフィおよび検査用途向けに設計された強力な自動装置です。ウェーハから半導体チップ、フラットパネルディスプレイまで、基板上に均一で高解像度の画像を生成できる精密設計装置です。EVG 6200マスクアライナーは、高いオーバーレイ精度と優れた位置再現性を備えたXY解像度5 um (0。2 mils)を備えています。これにより、非常に複雑な回路と集積回路の製造が可能になります。EV GROUP 6200は、効率的で低ドリフト操作性を備え、最大200mm x 200mm (8 「x 8」)の基板加工が可能です。信頼できるパフォーマンスに加えて、6200 Mask Alignerはユーザーにさまざまな機能を提供します。内蔵のウェハハンドリングシステムにより、ウェハローディング、アンロード、アライメントを完全に自動化できます。また、LEDカメラマシンを搭載しており、マスクマイクログラフをクリアかつ正確に作成できます。各マスクアライナーのデータは、高速ネットワーク接続を使用して保存および転送することができ、生産効率が向上します。EVG/EV GROUP 6200マスクアライナーには、プロセス監視システムやレーザー露出制御など、さまざまな追加アプリケーションやアクセサリを装備できます。これらのシステムを組み合わせて使用することで、解像度強化技術、両面リソグラフィー、高度なパッケージングなどの高度なプロセスでプロセスパラメータを正確に制御できます。高度で信頼性の高い技術で構築されたEVG 6200 Mask Alignerは、高性能で高スループットのリソグラフィおよび検査アプリケーションに最適なソリューションです。EV GROUP 6200は、幅広い環境での使用に適しており、コストを最小限に抑えながら生産効率と歩留まりを向上させる効果的な方法です。6200マスクアライナーは、低ドリフト動作と優れたオーバーレイ精度により、幅広い精密で複雑なアプリケーションに最適なツールです。
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