中古 EVG / EV GROUP 6200 NT #293810696 を販売中
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ID: 293810696
ヴィンテージ: 2017
Mask aligner
Dual-Sided
Exposure Modes: Hard, soft, and vacuum contact
Separation Distance: 0–300 µm
Wafer Thickness: 0.1 - 10 mm
Semi-Automatic Loading: Chuck pre-alignment
Quick Mask / Chuck Change
Rack: Holds up to 5 alignment tools
2017 vintage.
EVG/EV GROUP 6200 NTは、半導体およびオプトエレクトロニクス製造プロセス向けに設計された高度なマスクアライナーです。この精密機械は、比類のないアライメント精度とプロセスの柔軟性を提供し、半導体産業の研究と生産のための強力なツールとなります。EVG 6200 NTの主な特徴の1つは、露光プロセス中のマスクと基板の正確なアライメントを保証する高解像度光学システムです。最先端のアライメントアルゴリズムと高度な位相シフト技術を搭載しているため、難しい基板でもサブミクロンのアライメント精度が得られます。EV GROUP 6200NTは、半導体ウェーハの小片からオプトエレクトロニクス用途で使用される大型ガラス基板まで、幅広い基板サイズに対応できます。このマシンは手動モードと自動アライメントモードの両方を提供し、ユーザーは特定のプロセス要件に最適なアライメント方法を選択する柔軟性を提供します。EV GROUP 6200 NTは、アライメント機能に加えて、基板全体に均一で一貫した露出を確保するための高度な露出制御機能も備えています。この機械には、洗練された光強度変調と露光時間制御メカニズムが装備されており、ユーザーは特定のリソグラフィープロセスのための正確な露光条件を達成することができます。EVG/EV GROUP 6200NTは、マシンの簡単なセットアップと操作を可能にするユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスで設計されています。直感的なコントロールパネルは、アライメント設定、露出パラメータ、システム診断など、すべてのマシン機能にアクセスできます。このマシンには、組み込みのアライメントと露出レシピが付属しているため、ユーザーが簡単にリソグラフィープロセスをセットアップして実行することができます。研究者や開発者のために、6200 NTは高度なプロセス開発機能を提供しています。このマシンにはカスタマイズ可能な露出プロファイルが装備されており、ユーザーはさまざまな露出条件を実験し、特定のアプリケーション要件に合わせてリソグラフィープロセスを最適化することができます。また、高度なプロセスモニタリング機能とデータロギング機能もサポートしているため、ユーザーはプロセスパラメータをリアルタイムで追跡および分析できます。全体として、EVG 6200NTは、半導体およびオプトエレクトロニクス業界の厳しい要件を満たす汎用性と信頼性の高いマスクアライナーです。高度なアライメントと露出制御機能と、ユーザーフレンドリーなインターフェースとプロセス開発機能により、高度な半導体およびオプトエレクトロニクスデバイスの研究、開発、製造にとって貴重なツールとなります。
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