中古 EVG / EV GROUP 620 #9392780 を販売中

マスクアライナーとしても知られるEVG/EV GROUP 620は、精密フォトリソグラフィ用に設計された最先端の機器です。画像修復、レイヤー転送、接触および非接触イメージング、画像転送など、さまざまなアプリケーションに使用できます。EVG 620は、オペレータが露光フィールド全体をリアルタイムで表示できる高度な光学表示システムを備えています。また、生産性を向上させ、コストを削減するために設計された高度なNGS （Next Generation Stepper）技術も提供しています。NGS技術は、最適な登録精度のための自動アライメント制御と、最大40％の迅速な変更と時間節約を備えています。また、短い露光と長い露光の両方で高解像度の画像を生成するように設計されています。EV GROUP 620には、露出サイクル全体で一貫した温度を維持することができるオープンエアプレート機能が装備されています。また、+/-0。1ミクロン以上の再現性を備えた高精度のアライメントポイントも提供できます。これにより、0。5〜5。5ミクロンのプロセスの幅広い露光精度が保証されます。620は、21mm/sの高速で超滑らかな動きを提供する高精度のステージモーションモジュールを備えています。また、精密な温度制御を可能にする高度なサーマルイメージングユニットを備えており、熱変動を最小限に抑えます。また、高精度のフィルム接着と接触用途の高強度圧力を提供する高度な真空機を備えています。高度に自動化されたEVG/EV GROUP 620は、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を提供します。これにより、露出ポイント配置、線量ポイント調整、フレームカットなどの機能を選択できます。また、マスクをカスタマイズするために使用できる事前定義されたマスクのライブラリも提供します。EVG 620には、サーマルツールと圧力/真空アセットの2つの組み込みシステムも装備されています。サーマルモデルは、露出中の完全な熱均一性を確保するように設計されていますが、圧力/真空装置は正確な接触圧力と正確な真空制御を提供します。このシステムには、カスタムスクリプト用の強力で使いやすいプログラミング言語を備えたアプリケーション固有のソフトウェアスイートもあります。EV GROUP 620マスクアライナーは、高精度フォトリソグラフィのための汎用性と効率的なユニットです。自動アライメント制御、温度制御、スムーズなステージ移動などの高度な機能を提供します。広範な露光精度のために設計されており、接触および非接触イメージングプロセスの高精度を保証します。