中古 EVG / EV GROUP 620 #9352151 を販売中

EVG/EV GROUP 620は、高精度のマスクアライナーで、フォトマスクなどのパターンを基板上に高精度に整列・転送します。このアライナーは、6軸ロボットアームを使用して、比類のない4ミクロン、サブナノメートルの再現性を提供します。6インチのウェーハサイズにわたって、0。5ミクロンという小さな特徴を5シグマの精度で転送および整列する機能を備えています。EVG 620は、優れた形状精度で均質なビームスポットパターンを生成することができる特許取得済みのビーム露出技術を使用しています。高解像度の空間光モジュレータアレイにより、液晶ディスプレイや半導体マスクアライメント用途に最適です。本装置の8つの専用ステージにより、高速アライメント速度で高いスループットを実現し、フォトニックな論理制御により、長時間の本番稼働に即座にフィードバックを提供します。直感的なユーザーインターフェイスにより、正確なセットアップが保証され、組み込みライブラリにより、頻繁に使用されるパラメータセットにアクセスできます。EV GROUP 620は、最先端の光学アライメントステーションを使用しており、視野カバレッジを100％可能にし、最大5チャンネルに設定できます。このアライナーは、5つの中心焦点レンズとユニークなビーム制御機能を組み合わせて生産性を向上させる高度なビーム増強システムを備えています。統合されたソフトウェアは、インテリジェントパターンマッチングアルゴリズムと高度なマクロ技術を使用して、アライメント精度を向上させます。さらに、620はさまざまなアプリケーションの要求に対応するためにさまざまなアライメントモードを提供し、計測ユニットは継続的なプロセス最適化のためのフィードバックを提供します。アライナー独自のオートフォーカスマシンは、手動による介入なしで、すべてのウェーハサイズに対して非常に正確なアライメントを行うための最適な受け入れ基準を提供します。さらに、このツールは、より効率的なウェーハレベルのアライメントを確保するために、XYやXYT機能などの高度なグローバルアライメントオプションも備えています。