中古 EVG / EV GROUP 620 #9276216 を販売中

EVG/EV GROUP 620は、フォトリソグラフィ用途向けに設計されたマスクアライナー装置です。これは、集積回路などのマイクロエレクトロニクス部品を作成し、印刷するプロセスで使用されます。システムは10nmの小さい特徴のサイズと印刷することができます。単位は2つの主要な部品から成っています；アライナーとマスクプロセッサ。アライナーは、大型のX-Y電動ステージと、シリコンウェーハなどのフォトレジスト被覆基板にパターンを投影するプロジェクターを備えています。マスクプロセッサには、回転可能な6軸ロボットアーム、ガス供給機、プロセスガスモニター、最大25種類のマスクと5種類の基板を保持するためのマスク保管およびローディングツールが含まれています。アセットのアライメント精度は高く、平均アライメント誤差は1。2um以下、光学フィルターモデルは均一な露出を保証します。アライナーには、マスクのアライメント中に精度を高めるための真空装置が内蔵されており、空気感受性の低下にも役立ちます。このシステムは、ユーザーが簡単に設計、修正、またはマスクを作成して基板の両側にパターンを正確に印刷できるようにする制御ソフトウェアを備えており、ユーザーフレンドリーに設計されています。また、基板のより効率的な洗浄とベーキングを可能にする真空ユニットが含まれています。EVG 620には、基本的なパターン印刷からマイクロコンポーネントの3D印刷、高度な回路製造のための熱および電子ビームリソグラフィまで、幅広い用途があります。その高精度、柔軟性、ユーザーフレンドリーな制御ソフトウェアは、研究や教育プロジェクト、産業レベルのプロトタイピングに適しています。その構造はまたよりよいプロセス制御のための真空の容器のような他の装置と容易な統合を可能にします。