中古 EVG / EV GROUP 620 #9276197 を販売中

EVG/EV GROUP 620マスクアライナーは、高解像度フォトマスクリソグラフィーアプリケーションの生産のための完全自動化されたスタンドアロンマスクアライナーです。使いやすさと効率的な操作を念頭に設計されており、ユーザーは最小限の努力で高品質のフォトマスクを作成することができます。アライナーは、最新の光学表面イメージング、光学歪み補正、レーザー安定化プローバ技術を使用して、高アスペクト比と最小アライメントエラーを備えた非常に正確な感光印刷プレートを作成します。これにより、0.1µmまでのアライメント精度を備えた結晶レベルのフィーチャーが可能になります。さらに、EVG 620 Mask Alignerは、プリアライメントからポスト測定および検証まで、高度なプロセス制御機能を提供します。誤差補正用の走査型電子顕微鏡が付属しており、マスク表面を評価するための各種検査ツールが用意されています。システムは、プロセスのパラメータを自動的に調整して、プロセスの可能な限り最高のパフォーマンスを確保することができます。さらに、EV GROUP 620 Mask Alignerは、市場で入手可能な他のマスクアライナーよりも大幅に高速に設計されており、アライメントあたりのアライメント速度は1分間です。システムはPCに接続することもでき、ソフトウェアへのリモートアクセスとシステムの制御を可能にします。620マスクアライナーは、明確な幾何学的形状を持つ非常に精密なウェーハ基板を生成する機能を持っています。これに加えて、高解像度および低分散画像機能を備えており、ハイエンドのフォトマスク彫刻用途に最適です。EVG/EV GROUP 620マスクアライナーは、効率的で正確なマスクアライナーをお探しのお客様に理想的な選択肢です。高精度補正、高度なプロセス制御機能、高速アライメント速度を提供します。