中古 EVG / EV GROUP 620 #9268449 を販売中

EVG/EV GROUP 620は、精密フォトリソグラフィ用に設計された最先端のマスクアライナーです。高度なオートメーション、サブミクロンのアライメント精度、広いカバー領域を備えています。この機器は4インチ（10cm）のフルフィールドスキャナを備えており、最大スループットを提供し、1時間あたり最大500の手順を実行できます。特許取得済みのVMA （Vertical Machine Alignment）機能により、地形面の差が大きい構造物でも平坦な平面が確保され、これまでにない直接書き込みおよびオーバーレイ性能を実現します。システムは高度にモジュール化されスケーラブルであり、ユーザーの特定のニーズに合わせたさまざまな構成を可能にします。これは、単純なグラフィカルユーザーインターフェイスから、またはより高いスループットと自動化を提供する組み込みコンピュータのネットワークを介して操作することができます。EVG 620には、アライナー用のメインフレームと、ユニットと上下のスキャナ間の迅速なデータ転送を可能にするトランスデューションエレクトロニクスパッケージの2つの主要コンポーネントがあります。アクチュエータベースの光学機器により、マスクスタンプをウェーハに迅速かつ正確にアライメントできます。このツールは、プログラマブルビームスキャナーステージと組み込みレーザー干渉計アセットを統合して、サブミクロンのアライメント精度を実現します。EV GROUP 620は、マスクやウェーハにオーバーレイマークを配置するだけでなく、直接書き込みレイヤーを作成するために使用することができます。ダイレクトライトプロセスの場合、モデルは可変露光レベルを提供できます。フォトレジスト、酸化物、窒化物など幅広い材料に対応しています。装置は、すべての主要な半導体ファウンドリの要件を満たす厳格な品質管理基準で製造されています。これは、高精度フォトリソグラフィのための信頼性と費用対効果の高いソリューションです。