中古 EVG / EV GROUP 620 #9266635 を販売中

EVG/EV GROUP 620マスクアライナーは、パターンを様々な基板に加工するための専用精密工具です。集積回路、MEMSおよびマイクロシステム、薄膜ヘッド、フレキシブルエレクトロニクス、およびその他の幅広い用途のバッチ加工に最適です。EVG 620は、優れた精度とスループットレートを提供する完全自動化された機器です。アライメント力は、高解像度の線形測定センサと組み合わせた高度な画像処理技術に基づいており、各要素が所望の位置に正確に配置されるようにします。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスにより、セットアップ、操作、メンテナンスが容易に行えます。このユニットの中核は、自動レンズ最適化、完全な4象限センシング、および高速かつ正確な結果を得るためのプログラム可能なオーバースカンパターンを備えた高度なアライメントアーキテクチャです。また、オンボード診断機能を備えた統合マシンコントローラを備えており、エラーをチェックします。EV GROUP 620ツールには、直径8インチまでの基板を保持できるユニークな基板チャックアセットが装備されています。円形と長方形の両方のウェーハを扱うことができ、同じウェーハ上でさまざまな形状の複数のダイを処理することもできます。アライメント精度は± 2 μ m、マスクオーバースキャン精度は± 1 μ m以内です。さらに、620マスクアライナーには「、傾きと回転」機能、MEMSチャックチルト補償、陰極ガス制御など、均一で均一な蒸着を実現する技術がいくつかあります。その標準的な機能には、大気圧チャンバーと繰り返し可能なソフトウェアプロセスも含まれます。CCD解像度の高精度カメラモデルも搭載しています。さらに、EVG/EV GROUP 620マスクアライナーは、高速で信頼性の高いリソグラフィ装置を提供するように設計されています。その能力は、優れた結果を持つ複雑な製品の製造を可能にします。資本コストと運用コストが低いため、コスト効率の高い生産に最適です。このユニットは、複雑な部品が大量に必要な場合や、小規模な試作作業に最適です。