中古 EVG / EV GROUP 620 #9250079 を販売中

EVG/EV GROUP 620マスクアライナーは、フォトマスクやその他の基板の整列と接合に使用される精密機器です。1。5 μ mのアライメント精度でサブミクロン精度を達成できます。EVG 620は、シングルマスク/基板生産だけでなく、高スループット量生産にも適した完全自動化ツールです。効率的な自動化ソフトウェアにより、マスクと基板間の正確なアライメントと正確な接合が保証されます。EV GROUP 620には2つの独立したステージがあり、1つはリニアベアリングを内蔵した高精度のステッピングモーターステージ、もう1つはXYシータ軸電動ステージで、低加速フェーズと高速非同期ベルト機器で移動します。これにより、外部ハードウェアを追加することなくサブミクロンのアライメントを実現できます。統合されたソフトウェアは効率的で自動化されており、モーションステージと真空ムーブメントの両方を制御するためのプログラマブルインターフェイスが含まれています。高い精度と精度に加えて、620は詳細なプロセスコントロールユニットを備えています。これには、レンズシステムの選択を備えたビジョンマシン、真空システムのリアルタイム監視、自動位置決めツール、および自動校正およびモデリング資産が含まれます。この統合モデルは、時間後に一貫した反復可能な結果を保証するのに役立ちます。EVG/EV GROUP 620マスクアライナーは、幅広い基板のアライメントと接合に適した選択肢です。使いやすく、維持しやすく、市場で利用可能な最高レベルの精度と再現性を提供します。これにより、溶融基板のプロトタイピングと製造において、信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションとなります。