中古 EVG / EV GROUP 620 #9244743 を販売中

EVG/EV GROUP 620は、半導体産業における高精度かつ高スループットのフォトリソグラフィ用途向けに設計されたマスクアライナーです。統合された自動マスクセンタリング装置を備えた信頼性の高い高性能マスクアライナーです。このシステムは、優れたアライメント精度と再現性を備え、フォーカス、圧力、ギャップなどの露出パラメータを細かく制御します。EVG 620には5軸XYZステージモーションユニットと6軸マイクロスコープステージを装備し、最適なアライメントの柔軟性を実現しています。2段式真空チャックは、高解像度処理時の基板の安定性も確保します。ステッパーは最大200mmのウェハサイズに対応可能で、コーター-レセプターの組み合わせなど、さまざまなタイプのレジストを制御するのに最適です。高出力UV照明により、優れた露出均一性、再現性、光スループットを提供します。その作り付けの露出コントローラーは25mJ/cm2の露出の正確さの500mJ/cm2からの0.02mLへの絶対線量制御を可能にします。さらに、機械は丈夫な鋳造アルミニウム構造の上に構築され、長期的な安定性と精度を確保します。このツールは、直感的なメニューとコントロールアセットを備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えているため、シンプルで使いやすいです。また、センタリング機能を備えたオートウェーハフォーカス、自動リチクルアライメント、自動プロセス補正、ノンストップ、マルチプロダクト処理などの高度なオートメーション機能を備えています。最後に、EV GROUP 620は、3Dマッピングモデル、マルチマスクアライメント、マルチチャンバー機能、エッジからエッジまでのパフォーマンスなど、幅広いカスタマイズ可能な機能を備えています。この装置は、フォトリソグラフィ業界の多様なニーズを満たすことができる貴重なツールです。