中古 EVG / EV GROUP 620 #9224786 を販売中

EVG/EV GROUP 620シリーズのマスクアライナーは、高精度フォトマスクアライメントとリソグラフィ加工用に設計された高度なフォトリソグラフィーシステムです。本装置は、ウェーハレベルで極めて精度の高い画像を作成し、温度変化を最小限に抑えることができます。EVG 620は、プロセス制御および計測を含む幅広いアプリケーションに適しています。これは、デジタルカメラで画像をキャプチャし、高度な画像処理機能を実行するために必要なLensScan 3D+ビジョンシステムを使用しています。このイメージング技術は高精度で、最大3。5ミクロンの解像度を提供します。アライナーはサーボモータによって駆動される高精度のステージを持ち、ステージは53mm×53mmの移動範囲をカバーし、0。02mmの解像度で25〜4,000mm/sまで移動できます。EV GROUP 620の自動整列特性は、信頼性と強力性の両方を備えています。0。7 μ mの高分解能アライメント精度を持ち、超高速9µsパターンアライメントを実行できます。オートアライメント機能には、高度なオーバーレイとプロセス制御ソフトウェアも含まれています。このユニットには、リアルタイムで動作する独自の超高精度の光学歪み補正モジュールも含まれています。このモジュールは、最高レベルの構造を解決するためにビーム制御が不可欠なレジストプロセスと互換性があります。620は、DRIEおよびICPエッチング、およびクリーン、酸化物、CMP、ドーパントなどの化学プロセスに準拠しています。シングルウェーハマイクロマスクのアライメントとプロセス制御、マルチマスクスタックのアライメントが可能です。EVG/EV GROUP 620のハードウェアは、低い運用コストと迅速な納期で完全に自動化された運用を可能にします。このマシンには、堅牢なグラファイトプラットフォームと「オールインワン」機能のための5インチプロセスチャンバーが含まれています。また、迅速なレシピ変換と柔軟なクラスタ機能、マルチユーザー操作のためのオプションのCD/CNSツールも備えています。結論として、EVG 620は、正確なフォトリソグラフィとプロセス制御のためのすべての基準を満たす高度なマスクアライナーです。高度なイメージング機能、信頼性の高い自動整列特性、堅牢なハードウェア、柔軟な操作により、さまざまな製造および計測ニーズに最適です。