中古 EVG / EV GROUP 620 #9223622 を販売中

EVG/EV GROUP 620は、均一なパターンの広い領域で精密な光学リソグラフィを可能にする高度なマスクアライナーです。500mm×500mmまでの基板加工が可能で、次世代フォトマスク市場のニーズに応えます。この装置は、汎用性と信頼性の高いワークセルのコンセプトに基づいています。4フィールド、セミフィールド、オートパイロット、フルフィールドスキャンを含む5つの露出モードと、正確なアライメントのための専用のレベラーと回転システムが装備されています。プラットフォームには高解像度ビデオカメラが装備されており、ウェーハの正確なビデオイメージングとプロセス結果の観察が可能です。EVG 620は、自動非球面スキャンレンズやフッ化物対物レンズなどの最先端光学を使用して、高精度なリソグラフィを保証する高度な光学ユニットを採用しています。さらに専用のアライメントツールを搭載し、高度な自動化と再現性を実現しています。EV GROUP 620は、マスク生産の統合プロセスを簡素化するために設計されており、自動表面洗浄、高度なウェーハおよびマスク認識ルーチン、および複数のプロセス制御機能などの多くの機能を活用しています。また、さまざまなマスクサイズや基材を使用することができます。このアセットにはウエハハンドラが内蔵されており、ウエハーの自動交換が可能で、ハイスループット生産に最適です。さらに、ソフトウェアは、お客様の特定の要件を満たすために調整することもできます。最終的に、620マスクアライナーは、パフォーマンス、柔軟性、精度のユニークな組み合わせを提供します。これは、複雑なフォトマスクを製造するための強力なツールであり、マイクロエレクトロニクス、半導体、ナノテクノロジー研究における光学リソグラフィ用途に最適です。