中古 EVG / EV GROUP 620 #9207967 を販売中

EVG/EV GROUP 620は、高精度なアライメントと多目的マスクアライナーで、高速、高精度、汎用性の高い操作による高度なアライメントとパターニングに最適化されています。これは、熱インプリント歪みが問題となるナノスケール装置の画期的な製造のための低熱予算動作を特徴としています。EVG 620は、ウェーハとマスクの取り扱いステージ、ビームプロジェクトとシャッター装置、精密マスク翻訳ステージ、コントローラ、モーター付き照明と投影レンズシステムで構成されています。ウェーハとマスクの安定性は、独自のEVG/EV GROPU P6000基板およびパターンキャリアポート技術によって保証されています。この技術により、最大5つの″ウェーハと10 ″ x 10 ″パターンキャリアの簡単なローディング、トータルオートメーション、および簡単な位置決めが可能になります。EV GROUP 620の精密アライメントオプティクスユニットは、視野改善と収差低減のためのコンピュータ化されたフレネルレンズを備えたZemaxベースの光学機器で構成されています。さらに、デュアルイルミネーションツールとプロジェクションツール、フィールド内歪み補正オプションを装備しています。ウェーハアライメントは、機械の高度なアライメントセンサーと自動アライニングソフトウェアの配列を使用して行われます。また、異なるアライメントとパターンのニーズをサポートする高度なアライメントモードが装備されています。正確なオーバーレイ値を使用して、620はウェーハ上のパターンを正確にオーバーラップし、複雑な構造を作成します。EVG/EV GROUP 620の他の注目すべき特徴は、レーザー干渉計ベースのオーバーレイとパターニング精度、および正確な露光制御のための油圧駆動シャッターです。このアセットは、伝統的なフォトマスクからSiGeやGaNなどの先進的なデバイス材料まで、さまざまな材料を扱うのにも適しています。全体として、EVG 620は強力で汎用性の高いマスクアライナーであり、最高の精度と精度を必要とするアプリケーションにとって信頼できる選択肢です。ナノスケールデバイスを作成するのに最適なツールであり、世界中の製造ラボで不可欠となっています。