中古 EVG / EV GROUP 620 #9160674 を販売中

EVG （EV GROUP） EVG/EV GROUP 620は、半導体業界の様々な用途において、フォトリソグラフィの分野で広く使用されている、自動化されたオールインワンマスクアライナーです。EVG 620は柔軟で高精度なリソグラフィーツールで、幅広いアライニングおよびイメージング機能を提供し、複雑な集積回路（IC）チップやその他のマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用できます。EV GROUP 620は、重要なリソグラフィ用途のための高精度で再現性のある位置決めを備えています。5軸高精度のXYシータグローバル測位装置（GPS）ステージと多軸ピエゾ駆動ローカルアライメントシステム（LAS）を組み合わせており、ナノメートル範囲での精度と再現性に優れています。また、620は最先端の偏光ビームスプリッタ（PBS）顕微鏡を誇り、サブミクロン分解能とのアライメントをサポートする高倍率光学イメージングを可能にします。さらに、EVG/EV GROUP 620には、レーザダイオードイメージングユニットが内蔵されており、イメージング機能をさらに強化しています。EVG 620は、幅広いレジスト厚さの様々な基板を加工することができます。高精度のステージにより、300mm （12インチ）までの基板上のICを正確に整列させることができます。また、デュアルダマシンの特徴、トレンチ、ビア、ゲート、または複雑な3D構造の作成も可能です。EV GROUP 620には、さまざまな構成とオプションが用意されており、特定のお客様の要件に合わせてカスタマイズすることができます。これらの構成には、ICアライナー、マスクアライナー、ウェハスキャナ、マスクスキャナ、パルスレーザー直接イメージングマシンなどがあります。さらに、620にはタッチスクリーン技術を備えたユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）があり、経験の浅いユーザーでも簡単に使用できます。このオールインワンマスクアライナーは、ほぼすべてのプロセス制御ツールとの互換性を考慮して設計されており、既存の社内製造プロセス内で簡単に統合および操作できます。また、クリーンルーム環境での動作が可能で、常に最適な動作を確保するための優れたサービスとサポートに裏打ちされています。全体として、EVG/EV GROUP 620は、業界で最先端のパフォーマンスと最高品質の基準を提供する素晴らしいマスクアライナーです。その高度な機能と信頼性は、フォトリソグラフィーアプリケーションに最適な選択肢の1つです。