中古 EVG / EV GROUP 620 #9157850 を販売中

EVG/EV GROUP 620は、汎用性の高いマスク処理とテストのニーズに対応する高度なマスクアライナー装置です。完全に自動化された光学アライメント技術が組み込まれており、硬質または柔軟なマスクに対してフラット基板を正確かつ再現可能に登録できます。このシステムはまた、幅広いアプリケーションに優れたスループットと精度を提供します。EVG 620は、世界クラスの光コンポーネント、ソフトウェア、およびシステムエンジニアリングを備えています。13軸の精密ドライブを含む最先端のアライメントユニットは、アクティブなアライメントプロセス中に基板を正確に制御しながら、高い精度を実現します。これにより、レジストイメージング、ファインラインリソグラフィ、精密基板の準備、その他の困難な作業などの用途に最適です。高精度の光学イメージングセンサーとステアラブルマスクを組み合わせた自動化されたアライメントプロセスにより、毎回基板を正確に配置でき、X軸とY軸の両方で+/-1ミクロン以上、Z軸で+/-2ミクロン以上の再現性が得られます。これにより、高精度なレジストイメージと精密な基板調製が可能になります。このマシンはまた、すべての操作のサブミクロン精度を確保するための強力なリソグラフィーツールを備えています。アセットの自動化されたZフォーカスモジュールにより、ダイナミックスキャンにより、レジスト厚さの均一性を確保できます。カスケード操作モードにより、超高分解能と偏差制御が保証され、高度なアライメントおよび検出アルゴリズムにより、設計データの迅速で正確なマッチングが可能になり、外れを最小限に抑えます。また、高解像度のカラーLCD 4。3"タッチスクリーンを搭載し、アライメント、露出数、基板あたりの露出総量、レジスト結果の詳細な評価などの情報を表示します。これにより、簡単で直感的な操作が可能です。EV GROUP 620は、優れた性能と操作性を備えた高度なマスクアライナー装置です。高解像度のカラーLCD 4。3"タッチスクリーンにより、レジスト結果を詳細に評価しながら、さまざまなアプリケーションに優れた速度と精度を提供することができます。