中古 EVG / EV GROUP 620 #9149820 を販売中

EVG/EV Group EVG/EV GROUP 620は、光学リソグラフィに使用される次世代マスクアライナーです。クラスの他のマスクアライナーよりも高い精度、妥協のない均一性、および優れたプロセス一貫性を提供します。この装置は、完全に自動化された高速アライメントステージを備えています。これまでにない精度と再現性を備えたマイクロポジショニングシステムを採用しています。光学プロービングカメラは、ウエハサンプルの正確な位置を決定するのに役立ちます。この光学アライメントユニットは、ウェーハ全体にわたるクリティカルな寸法均一性のための半導体標準を満たしており、高分解能アライメントセンサーは正確な位置精度を提供します。マスクステージは、マスクサイズとフォトレジストの厚さに基づいて常に調整される視野平面を備えた全自動の高速ポインティングユニットで構成されています。これにより、マスクの配置精度が保証され、潜在的な登録エラーが低減されます。さらに、機械にはマスクの迅速な積み下ろしを容易にする統合された機械クランプツールがあります。このアセットには、ユーザーワークフローを合理化し、効率を向上させるために設計されたいくつかの機能があります。自動化されたレシピモデルは、単一のレシピでプロセスのセットアップと均一性の検証を簡素化します。直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザーはプロセスレシピを迅速に構築および制御でき、リアルタイムで調整できます。さらに、この機器は最大5つのレシピを同時に実行してスループットを向上させます。EVG 620は、世界クラスの光学リソグラフィ性能を提供します。高精度のアライメントシステムは、卓越した精度と再現性を提供します。完全に自動化されたマスク配置ステージは、正確なマスク位置決めを保証し、直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザーは簡単にレシピとプロセス設定を調整できます。このシステムはまた、再現性と信頼性の高いプロセス性能のための統合温度制御技術を備えています。