中古 EVG / EV GROUP 620 #293732724 を販売中
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EVG/EV GROUP 620マスクアライナーは、マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスデバイスの製造用に設計された精密リソグラフィックツールです。このツールにより、コンタクトリソグラフィを使用してファインラインおよびウルトラファインライン機能を基板に正確にパターン化できます。EVG 620は、高い歩留まりと精度でサブミクロンの機能を生成することができます。EV GROUP 620には、マスクとウェーハステージ、1つまたは2つの可動ミラー、および独立したフォーカス、露出、アライメントコントロールからなる可変照明装置があります。この機能により、350 nm〜560 nmの光波長で基板を露出させることができます。このユニットは、ソフトウェア制御で構成することもでき、さまざまなリソグラフィープロセスを使用することができます。620は、内蔵のレーザーモジュールにより、自動化されたアライメント機能と統合されています。この機能により、マスクアライメントとオーバーレイステップの精度が大幅に向上し、プロセス時間とコストが削減されます。マスクアリグメントマシンは、2つのレーザーダイオードビームを使用して、リソグラフィーツール内のフォトマスクと基板の正確なアライメントを保証します。与えられたジオメトリのアライメント精度は、0。2ミクロンよりも優れています。さらに、EVG/EV GROUP 620は、自動パターン生成機能を提供します。洗練されたソフトウェアを使用して、製造プロセスで各レチクルのための非常に詳細な光学スクリプトを生成することができます。このソフトウェアは、正確な露出を最適化して欠陥の発生を最小限に抑え、ショット間の変動を最小限に抑えることができます。EVG 620は、高分解能レチクル、マイクロエレクトロニクスデバイスの欠陥低減、薄膜太陽電池デバイスなど、多くの産業用途に適しています。精度、性能、生産に優しい機能を兼ね備えているため、メーカーにとっては優れた選択肢です。
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