中古 EVG / EV GROUP 620 #293591060 を販売中

EVG/EV GROUP 620は、フォトリソグラフィックマスキングの分野で精度と精度を提供するように設計された最先端のマスクアライナーです。ウェーハボンディング、MEMSやCMOSデバイスの加工、高度な集積回路製造など、幅広い加工アプリケーションに適しています。アライナーは高度なイメージングシステムを使用して、マスクをマスキング基板に正確に再現可能なアライメントを提供します。EVG 620は、位置決め精度が<1 µm、 XYステージ精度が0。2 µm、 XYステージ再現性が0。1 µmで設計されています。コンピュータ制御のUV光源を利用し、マスクの正確なアライメントを可能にします。UV光源は、手動または特別なスキャンプログラムを介してトリガーすることができます。さらに、低振動で絶縁されたアライメントプラットフォームを備えており、最適なパフォーマンスを保証します。EV GROUP 620は、基板の傾き、ねじれ、焦点、高さを測定および追跡するためにプログラムすることができる統合計測システムも備えています。これにより、オペレータはプロセス結果を最適化するためにマスキングパラメータを調整することができます。さらに、統合された第4世代のリソグラフィックモジュールを備えており、最大4000 x 4000 µmの大型基板を処理できます。620はまた、UV硬化乾燥プロセス（PDC）や均一な加工結果のためのスピンコートなどのさまざまな加工オプションを提供しています。また、高度なウエハヒーターを備えており、プロセス全体を通して正確な温度制御を行うために校正することができます。EVG/EV GROUP 620は、スピンオンガラス（SOG）などの特殊加工用途に必要な制御雰囲気を提供できるガスボックスを内蔵しています。最後に、EVG 620は、さまざまな制御および互換性オプションを提供します。これは、標準的なソフトウェアウィンドウの広い範囲と互換性があります、だけでなく、ホストPC、とLabVIEWソフトウェア。さらに、EV GROUP 620は、コンピュータまたはホストPCを介してリモートで制御することができます。これらの機能はすべて、620を高度なフォトリソグラフィックマスキングアプリケーションに理想的なソリューションにします。