中古 EVG / EV GROUP 601 #9402075 を販売中

EVG/EV GROUP 601マスクアライナーは、高度なフォトマスクの製造におけるマルチプロセススイートの一部として使用されるように設計された高精度マスクアライナーです。最大200mm x 250mmの基板サイズと最大60ナノメートル（nm）のアライメント精度を備えたこのマスクアライナーは、最も繊細で敏感なフォトマスクにも対応できます。EVG 601マスクアライナーは、基板上のパターン化されたフォトマスクの正確なリトグラフィックアライメントを必要とする製造プロセス用に特別に設計されました。マスクアライナーには、デュアルステージアライメントマーキングとリアルタイムイメージングが装備されており、フォトマスクが基板と正確に整列することを保証します。その2次元精密ステージは圧電駆動技術を使用してナノレベルのステップ分解能を提供し、10nmの位置再現性を提供します。EV GROUP 601マスクアライナーは、最大200mmの対角線サイズのウェーハに対応でき、アライメントシステムはさまざまな形状のフォトマスクに対応するために調整可能です。601マスクアライナーは、マスクやレチクルの露出や開発、フォトマスクの前処理や後処理などの高度なリソグラフィープロセスに最適です。さらに、マスクアライナーには、アライメントマーク間の自動移動を可能にし、アライメント時間を短縮するオンボードナビゲーションシステムが装備されています。ナビゲーションシステムはまた、より速く、より正確な基板からマスクへのアライメントを保証します。EVG/EV GROUP 601マスクアライナーは、幅広いリソグラフィープロセスで使用できる汎用性と信頼性の高いマスクアライナーです。マスクアライナーは、高精度のアライメント、高速処理、歩留まり向上を実現し、EVG 601はフォトマスク加工に最適です。