中古 EVG / EV GROUP 420 #293757176 を販売中

EVG/EV GROUP 420 Mask Alignerは、プロセス開発のための動的パターンマスキングと計測機能をユーザーに提供する汎用性の高いマスクアライナーです。EVG 420マスクアライナーは、光学リソグラフィーからナノスケール技術までのプロジェクトに最適です。最新の精密アライメント技術とレーザーを使用した高精度で、幅広い基板バリエーションとプロセスの専門知識を提供できます。EV GROUP 420 Mask Alignerは、複数のマスクフレームを一度に素早く装填することができる特別な統合タレットを設計および装備しており、異なるマスクと複数のプロジェクトを同時に実行することが容易になります。さらに、手動アライメント、自動コーナー検出、エッジ検出の3つの異なるアライニングモードを提供します。マニュアルアライメントは、壊れやすいマスクを整列させ、残留歪みを最小限に抑える最も正確な方法です。420 Mask Alignerは、サイクルタイムはわずか240秒、スループット速度は最大200ウェーハ/時間です。また、最小基板厚が0。2mmと低いため、薄い基板にも対応できます。一方、Mask Alignerは、プロセス品質を向上させるための適応フォーカス制御、傾斜制御、平面化アルゴリズムも備えています。EVG/EV GROUP 420マスクアライナーの他の注目すべき機能には、完全に自動化されたウェハローディングとアンロードが含まれます。温度調節のための熱画像システム；最先端のCCDおよび自動露出のイメージ投射システム；オーバーレイアライメントレシピのライブラリです。全体として、EVG 420 Mask Alignerは、高速かつ正確なリソグラフィおよび計測プロセスに最適な多数の機能と機能を備えた汎用性の高いイメージングツールです。これは、高精度と高速性が最優先されている任意の開発および研究環境のための理想的なツールです。